等離子體是一種高度電離氣體,其中包含正、負(fù)離子和自由電子,能量十分充足。可以通過多種方式產(chǎn)生,如弧放電、輝光放電、放電等離子體、微波放電等。等離子體具有高溫、高密度、高化學(xué)活性和強(qiáng)烈的輻射等特性。
等離子處理機(jī)運(yùn)用了等離子體的特性,在特定條件下通過高頻交流電源來產(chǎn)生等離子體,然后將等離子體按照一定的方式引導(dǎo)到材料表面進(jìn)行處理。可以通過電離氣體產(chǎn)生高能電子,從而激發(fā)氣體分子與材料表面發(fā)生反應(yīng),形成新的化學(xué)鍵或者改變表面晶體結(jié)構(gòu),達(dá)到提高材料硬度、耐磨性、降低摩擦系數(shù)等效果。主要用于提高材料表面的耐腐蝕、耐磨損、附著力和界面黏合力等性能。通過等離子體所帶有的高能量、高電荷密度、高反應(yīng)活性和局部加熱作用,實(shí)現(xiàn)表面處理。在等離子體作用下,表面原子或分子被剝離、氧化、還原或聚合等反應(yīng),進(jìn)而形成新的碳?xì)滏I和鍵鏈結(jié)構(gòu),從而改變材料表面物理和化學(xué)性質(zhì)。
等離子處理機(jī)PLUTO-MH參數(shù): |
真空腔尺寸 | 316不銹鋼腔體,q210mm*230mm(約4L) |
電極尺寸 | 兩個(gè)自適應(yīng)平板電極,材質(zhì)T6061鋁合金(可提供特氟龍包覆無孔平板電極, 合需要雙面處理樣品) 125*125mm間距20-75mm 可調(diào)(可反轉(zhuǎn)) |
等離子體發(fā)生器 | RF射頻發(fā)生器,頻率:13.56MHz;自適應(yīng)阻抗匹配電源 |
功率 | 0-500W連續(xù)可調(diào),精度1W |
氣體控制 | 針式氣體流量閥,標(biāo)配1路氣體,全不銹鋼管道和連接件 |
控制方式 | 4.3寸工業(yè)控制觸摸屏 控制軟件功能:界面顯示實(shí)時(shí)工作狀態(tài),可顯示設(shè)置值與實(shí)際值,便于實(shí)時(shí)控制??勺杂稍O(shè)置等離子功率,通入氣體時(shí)間多級操作權(quán)限,多種工藝參數(shù)組合控制,全手動控制和全自動控制可選 |
保護(hù)裝置 | 一鍵急停保護(hù)按鈕 |
接下來介紹等離子處理機(jī)的具體操作步驟:
1.先將要進(jìn)行處理的材料進(jìn)行清潔,以確保無附著物影響處理效果。然后將材料置于處理室內(nèi),并關(guān)閉氣密門。
2.為了產(chǎn)生等離子體環(huán)境,需要對處理室進(jìn)行真空處理,使其中的氣壓達(dá)到一定的范圍。這樣才能避免由于氧氣、水蒸汽等氣體的存在對處理效果的影響。
3.通過引入不同種類的氣體,可以控制等離子體的成分和特性,如氮?dú)獾瓤稍鰪?qiáng)材料表面的硬度,氫氣等則可使材料透明。加入氣體的方法包括導(dǎo)流和噴漿兩種。
4.高頻電源通過鎢絲等電極,在處理室內(nèi)產(chǎn)生高頻電場,從而引出等離子體。
5.根據(jù)不同的工藝要求和材料特性,通過調(diào)整電場、氣態(tài)分布和處理室溫度等條件,實(shí)現(xiàn)對材料表面的處理。
6.工作結(jié)束后的清理。處理結(jié)束后,需要關(guān)閉高頻電源并排放處理室,然后取出處理后的樣品進(jìn)行分析評價(jià)。